要闻:上海市《半导体行业污染物排放标准》(DB31374-2024)快速解读


上海市《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)是对半导体行业在生产过程中产生的大气污染物排放进行严格规范和控制的地方性法规。该标准自2024年5月1日起实施,对于加强环境保护、促进产业升级以及实现可持续发展具有重要意义。

 

1. 适用范围和要求:
《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)适用于上海市半导体行业的现有企业和新建项目的水、大气污染物排放管理,包括环境影响评价、环保设施建设、竣工验收、排污许可证发放及投产后的污染排放监管。

 

2. 大气污染物排放限值:
规定了针对硫酸雾、氯化氢、氟化氢、氯气、氰化氢、锡及其化合物、氨、苯以及苯系物、总挥发性有机物(TVOC)、非甲烷总烃(NMHC)、颗粒物和氮氧化物等大气污染物的最高允许排放浓度。
对于不同的污染物项目,在车间或生产设施排气筒排放时,设定了明确的浓度限值,并强调了排气筒高度应不低于特定数值,以确保有效扩散稀释。

 

3.有组织排放控制:
要求废气收集处理系统与生产工艺同步运行,并在设备检修期间配套废气应急处理措施。
指出当执行不同排放限值的废气合并排放时,应在混合前进行监测并按最严格的限值执行。

 

4. 无组织排放控制:
明确了VOCs和恶臭污染物无组织排放必须符合国家相关标准的要求。

 

5.边界污染物监控:
规定企业边界任何时段内大气污染物监控浓度应符合特定限值,例如对氰化氢、氯气、氯化氢和非甲烷总烃设定的浓度限值。

 

6. 台账记录与监测要求:
企业需建立完善的台账制度,保存至少五年的记录,并按照相关规定制定自行监测方案,安装使用废水和废气自动监控设备。
应在污染物排放口设立永久性采样口,且根据污染物种类在规定位置进行监测,对于设有处理设施的企业,应在处理后进行监测。

 

7. 监测方法:
提供了具体的监测分析方法标准列表,指导企业采用规定的国家标准方法来测定各类大气污染物的排放量。

 

《半导体行业污染物排放标准》(DB31/374-2024)原文内容,下载:20240318《半导体行业污染物排放标准》(DB31_374-2024).pdf   

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